多层次多尺度全物态电子学建模技术 - 李 永东

多层次多尺度等离子体电子学(含半导体工艺)/真空电子学建模技术

     现代新型真空电子学器件、等离子体电子学器件和固态功率电子器件在航天、国防、高技术领域具有重要作用,在加速器、Z箍缩等诸多大科学装置中不可或缺,在微电子加工、材料表面处理、生物医学应用等工业领域举足轻重。该类器件的机理研究和分析设计属于多层次、多尺度问题,依赖于先进数值建模和数值模拟技术。

    多层次:1. 工程; 2. 材料; 3. 原子/分子。

    多尺度:1. 系统(米);2. 器件(毫米/厘米);3. 表面(微米); 4. 材料结构(埃)。

    全物态:1. 等离子体态; 2. 固态; 3. 液态; 4. 气态

    建模方法:

    1. 系统尺度: 等效电路。

    2. 器件尺度:(1) 粒子模拟; (2) 流体模拟; (3)混合模拟。

    3. 表面尺度:蒙特卡罗方法。

    4. 材料结构:密度泛函方法/分子动力学方法。

    不同尺度间需要混合、耦合或关联。

 

    目标:在课题组历经二十年自主研制的尤普(UNIPIC)粒子模拟软件基础上,实现其多层次、多尺度和全物态化扩展,并在电磁学、微波技术、等离子体技术、半导体加工等领域获得全面应用

UNIPIC(尤普)粒子模拟软件研制

软件建模能力

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多尺度计算

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实验验证

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