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MEMS流体导热系数和热扩散率传感器


2014-06-07

        采用3ω法测量液体的导热系数,并结合微机电系统(MEMS)制作工艺,设计了一种新型结构的流体热物性(导热系数和热扩散率)传感器,推导了加热器温度波动表达式,得到了液体热物性测量公式,并设计完成版图。这种传感器结构简化了分析模型,提高了测量灵敏度,所需流体体积少(小于1μL)。

图1 传感器结构示意图

图2 传感器温度波动图