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PPy压强传感器


2014-06-08

       为了提高微压强测量传感器的灵敏度,不仅要求传感器的结构设计合理,更需要有合适的材料作为传感器的敏感元件。在保证传感器结构强度以及稳定性的情况下,需要提高传感器的灵敏度和线性度。本设计基于微通道的微压强传感器,结构如(图1)。此压强传感器利用聚吡咯水凝胶材料作为敏感材料,利用其特有内部空心球状微观结构(如图2)而使其具有的体压阻以及表面压阻效应,大大提高了传感器在工作中的灵敏度。在此基础上,通过微细工艺在PPy与微通道的接触面上利用宏微结合的硅模具(如图3)制作出阵列化图案,大大加强PPy材料的压阻效应。
 

图1 基于微通道的微压强传感器结构图

图2 内部空心球状微观结构

图3 硅模具