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硅微压强传感器


2014-06-09

基于全自动定量移液器工况检测需求所研究的基于体硅工艺的硅微压强传感器,此系列传感器基于体硅工艺结合梁膜结构大大提高了MEMS压强传感器的分辨率。

图1 各种硅微结构压强传感器