1. 功能氧化物薄膜实验室

1. 功能氧化物薄膜实验室超净间

 

 

2. 脉冲激光分子束外延沉积系统(美国, Necero P-180)：

 

3. 脉冲激光沉积腔 （沈阳, PLD-450F）

  

4. 五靶高压共溅射薄膜沉积系统 (德国)：

 

 

2. 微结构测试设备

                                                                                        

1. 薄膜高分辨X射线衍射仪

 

 

 

                                                                                                        

3. 电学测试设备
请为该模块添加内容!