我的科研 - 马 飞
论文标题 | Impact of ultrathin Al2O3 interlayer on thermal stability and leakage current properties of TiO2/Al2O3 stacking dielectrics |
作者 | Hong-Bo Wang, Da-Yan Ma, Fei Ma, Ke-Wei Xu |
发表/完成日期 | 2012-08-08 |
期刊名称 | Journal of Vacuum Science & Technology B |
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论文简介 | Impact of ultrathin Al2O3 interlayer on thermal stability and leakage current properties of TiO2/Al2O3 stacking dielectrics |