科研项目

项目名称    HfO2/Al2O3/IGZO薄膜材料的制备及界面特性研究(2019JLM-30)
项目来源    其他
起始时间    2019-1~
项目经费    30万元
项目类别    纵向项目
状态    进行中
项目优势   
技术优势   
可行性   
简介