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MEMS & Sensors

Topic 1: Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

 a) Bulk Acoustic Mode Micromechanical Resonators

 

  

 

 b) Coupled Micromechanical Resonators

 

 To be updated soon!

 

c) Nonlinear dynamics of micro/nano devices

 

 

 

Nanotechnology

Topic 2: Nanomaterials and Nanofabrication

 

 a) Electrochemical deposition based micro/nanofabrication

  When the electroforming as an old technology meets the cutting edge micro and nano technology, new opportunities are born to fabricate high precision components and functional structures at lost cost and high throughput.

 

 
 

b) Nanoparticulates strengthened nickel microcomponents

 

 

c) Synthesis and characterization of nanoparticles for biosensing applications

 

 

Microfluidics

 Topic 3: Microfluidics and Nano-Bio-Engineering

 a) Rarefied gas flow at micro and nanoscale devices

 

 

 b) Microfluidic chips for molecular diagnosis

 

To be updated soon
科研项目
项目编号 项目名称 项目来源 起讫时间 承担角色 项目类别
2018YFB2002303 基于超谐同步的高精度硅微加速度传感器 国家重点研发计划2019-7~负责人纵向项目
2018ZDCXL-GY-02-03 高精度加速度计的研发 陕西省重点研发计划2018-1~负责人纵向项目
51711530237 基于声表面波驱动的微液滴筛选藻类细胞研究 国家自然科学基金项目2017-4~负责人纵向项目
51575439 硅微谐振器中的非线性效应研究及其在振荡器中的应用 国家自然科学基金项目2016-1~负责人纵向项目
2014jm2-5054 基于多模结构的新型硅微振荡器研究 陕西省科学技术厅2015-1~负责人纵向项目
2014G1502004 基于MEMS加速度传感器的挖机倾角测量系统研制 公路养护装备国家工程实验室2015-1~负责人纵向项目
51345014 体声波模态微机械谐振子中的非线性效应及其应用研究 国家自然科学基金项目2014-1~2015-1负责人纵向项目
2012YQ03026101 自动化核酸检测与分析关键技术及部件研制 科技部重大仪器专项2013-1~骨干成员纵向项目
MSV-2010-20 微/纳器件的非线性动力学研究 机械系统与振动国家重点实验室开放基金2010-4~2012-4负责人纵向项目
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