MEMS传感器由于其精度高、体积小、成本低等优点广泛应用于国防、工业及电子消费品领域。本课题组为解决我国对高性能MEMS加速度传感器的需求，重点针对惯性导航、振动监测、地震检波三个应用场合分别研制高精度MEMS加速度传感器和测试样机。还研制了高精度扭矩传感、压力传感器、电荷传感器等核心MEMS敏感芯片。

      微流控与生物传感技术研究，以液滴微流控为基础，结合声流控和生物传感技术，涉及多层液滴与多孔材料制造、声学微纳操纵、生物传感器件、声学生化设备等领域。目前，课题组基于表面声波声流控技术，架构了从原理到器件到设备的完整研究线与技术链，从理论到实践为生物化学研究提供了多种快速、高效、一站化的解决方案。