名称 申请号 专利类型 申请日期
一种具有复合多梁结构的加速度传感器芯片及其制作方法 201110133986.6发明 2011.05.01
一种孔缝双桥式加速度传感器芯片及其制备方法 201110133962.0发明 2011.05.01
梁膜结合微压传感器 200910024321.4发明 2010.11.01
一种硅微加速度传感器芯片 200910219464.0发明 2010.06.01
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