一种具有复合多梁结构的加速度传感器芯片及其制作方法

申请号 201110133986.6  专利类型 发明
发明人 赵玉龙, 刘岩, 孙禄, 田边, 蒋庄德  申请日期 2011.05.01
代理人   学院 机械学院