一种孔缝双桥式加速度传感器芯片及其制备方法

申请号 201110133962.0  专利类型 发明
发明人 赵玉龙, 孙禄, 刘岩, 田边,蒋庄德  申请日期 2011.05.01
代理人   学院 机械学院