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科研项目

项目名称    纳米压印光刻中多层套印精度控制机理与方法研究(50805117)
项目来源    国家自然科学基金项目
起始时间    2009-1~2011-12
项目经费    21万元
项目类别    纵向项目
状态    已完成
项目优势   
技术优势   
可行性   
简介   
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