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科研项目

项目名称    压印光刻中动态套印对准技术研究(DMETKF2009015)
项目来源    “数字制造装备与技术”国家重点实验室
起始时间    2010-1~
项目经费    万元
项目类别    纵向项目
状态    进行中
项目优势   
技术优势   
可行性   
简介   
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