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滚转角测量中直角棱镜相位损失及解决方法




作者: 李朝辉1,王昭1,黄军辉 1,汤善治 2,郭俊杰2
发表/完成日期: 2014-09-01
期刊名称: 西安交通大学学报
期卷: 48(9)
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论文简介
摘要:在利用正交偏振光外差干涉相位法测量数控机床滚转角误差的过程中,发现反射元件直角棱镜造成的相位损失对系统分辨率产生了不可忽略的影响,通过琼斯矩阵运算,量化了该相位损失对实验结果的影响,并进行了实验验证;同时,针对相位损失问题,提出了基于高反膜相长干涉原理的解决方法。实验结果表明,使用两相互垂直的高反镜代替直角棱镜可以消除相位损失,从而解决了直角棱镜引起的滚转角测量系统分辨率降低的问题。该原理和方法为解决全反射导致的光学相位变化问题提供了理论依据和解决思路。
关键词:滚转角;直角棱镜;相位损失;相长干涉;
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