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论文标题 | Argon metastable state densities in inductively coupled plasma in mixtures of Ar and O2 |
作者 | Hayashi Y, Hirao S, Zhang Y, et al |
发表/完成日期 | 2009-04-16 |
期刊名称 | Journal of Physics D: Applied Physics |
期卷 | 2009, 42(14) |
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论文简介 | SCI included |