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Personal Information
教师姓名: 张惠宇
电子邮箱:
所在单位: 材料科学与工程学院
学历: 硕博连读
办公地点:
性别: 男
联系方式:
学位: 博士
职称: 助理教授
博士生导师: 否
硕士生导师: 否
所属院系: 材料科学与工程学院
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耐等离子体刻蚀氧化钇陶瓷涂层开发
发布时间:2025-04-30
点击次数:
项目名称:
耐等离子体刻蚀氧化钇陶瓷涂层开发
项目状态:
进行中
项目分类:
横向项目
项目来源:
江苏凯威特斯半导体科技有限公司
项目编号:
202307151
立项时间:
2023-07-01
结项日期:
2026-06-01
资助额度(万元):
1400.0
发布时间:
2025-04-30
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