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基本信息

陈涛

电子邮箱:

所在单位:电子科学与工程学院

学历:博士研究生毕业

办公地点:兴庆校区:教二南楼306
创新港校区:泓理楼西构2075

性别:男

联系方式:

学位:博士

职称:教授

学科: 电子科学与技术

招生学科 电子科学与技术

发表论文

Fabrication of high-aspect-ratio grooves in silicon using femtosecond laser irradiation and oxygen-dependent acid etching

发布时间:2025-11-23

影响因子:
3.525
论文名称:
Fabrication of high-aspect-ratio grooves in silicon using femtosecond laser irradiation and oxygen-dependent acid etching
发表刊物:
Optics Express
卷号:
21
期号:
14
页面范围:
16657-16662
ISSN号:
1094-4087
是否译文:
发表时间:
2013-07-15
收录刊物:
SCI