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课题组获批立项2022年国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”专项项目

发布时间:2022-11-10
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2022-11-10
文章标题:
课题组获批立项2022年国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”专项项目
内容:

20221110日,科技部发文(国科议程办字[2022]66号)公布了2022年度国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”专项立项信息,陈玉老师牵头申报的“紫外光电子谱分析仪研制与应用”项目成功获得批复。项目执行期为202211月至202610月,项目总经费3992万元,获批国拨经费1992万元。

该项目联合4家课题承担单位中国科学院高能物理研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、广州禾信仪器股份有限公司、北京卫星环境工程研究所,5家课题参与单位中国科学院半导体研究所、西北大学、北京玉研精密仪器有限公司、上海恒益光学精密机械有限公司、常州玉宇电光器件有限公司,共同开展关键核心技术攻关,完成紫外光电子谱分析仪研制与应用。

该项目针对材料紫外光电子发射特性和半导体表面电子结构精细表征等检测需求,突破连续可调紫外光电子产额谱-能谱联合分析测试技术、高功率真空紫外光源与大动态范围光电子探测器技术、高分辨率真空紫外单色仪及其精密集成技术、典型宇航与半导体材料紫外光电子谱数据库与定量分析方法等关键技术问题,打破国外技术垄断,研制具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的高性能紫外光电子谱分析仪,形成批量生产能力,实现在宇航材料和半导体材料等领域的示范应用及产业化推广。本项目仪器在宇航和半导体领域的应用,对保障我国重大空间资产长期安全运行提升高性能半导体器件研制能力具有重要意义。