晶圆精密超精密加工技术

半导体是信息技术产业的核心以及支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。半导体产品主要应用于计算机、家用电器、数码电子、电气、通信、交通、医疗、航空航天等诸多领域。半导体的加工技术是芯片制造的基础，也是国家高端装备和先进制造技术水平的重要标志之一。半导体加工是从晶棒到单个芯片的过程，金刚石工具在这一过程中起着至关重要的作用，如晶棒剪裁、晶圆减薄、划片等。课题组致力于晶棒切片、晶圆减薄、晶圆划片等精密超精密加工技术的研究，取得了丰富的成果。

                                       

            晶棒切片                   晶圆减薄                  晶圆化学机械抛光(CMP)

                                                                    

             线锯切片                                               减薄砂轮                                                          CMP修整器

精密超精密刀具制造技术

精密超精密加工技术的发展，直接影响到一个国家尖端技术和国防工业的发展。精密刀具（砂轮）是实现精密超精密加工技术的前提和先决条件。现代制造业对精密刀具（砂轮）的需求越来越多，高端装备制造更是越来越依赖精密刀具（砂轮）的发展，高速、超高速、高精、超精加工，尤其是硬脆和高硬材料的加工已经离不开精密刀具（砂轮）。课题组一直致力于精密金刚石刀具（砂轮）制造技术的研究，开发了系列精密钎焊（或多层钎焊）金刚石砂轮、切割工具、钻孔工具、打磨工具和修整器等。

                    

           切割、钻孔和打磨工具                                     精密金刚石砂轮                                                 CMP修整器 

高端装备设计与制造

作为“国之重器”，机床是制造业的基础，机床对于制造业水平提升具备极强的战略意义，在实现国民经济现代化的建设中起着重大作用。数控机床更是高端装备智能制造的核心所在，直接决定了一个国家的工业发展水平，而高端数控机床产业是国民经济和社会发展全局的基础性、先导性和战略性产业。课题组致力于研究几何精度和静动态特性复合约束下的机床设计与优化技术，满足高精度数控机床的设计需要。

                                     

         机床设计                                机床静态特性                            机床结构优化                         高精度数控机床

研究项目

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Project number Project name Project origin Start time Roles Project kind
52375463 钎焊金刚石砂轮逆序规则排布和石蜡相变抑制磨削热的基础研究 国家自然科学基金面上项目 2024-01~2027-12 负责人 Vertical project
20230xx6 xxxxxxxxxxx建模分析及xxxxxx分析 某大型企业 2023-09~2025-12 负责人 horizontal project
20230xxx8 xxxx高强钢xx高效精密磨削用金刚石砂轮及其应用技术开发 xxxxxxxxxx 2023-09~2024-09 负责人 horizontal project
2023xx155 xxxxxx磨精度提升技术 某大型企业 2023-09~2024-09 负责人 horizontal project
2023xx210 xxxxx打磨xx技术 某大型企业 2023-09~2024-07 负责人 horizontal project
20230xx5 钛合金磨削专用xx金刚石砂轮 航天xxxxxxxxx 2023-04~2024-04 负责人 horizontal project
20210xxx8 xxxxxxxxxxxxxxxx技术 xxxxxxxx有限公司 2021-04~2023-04 负责人 horizontal project
52005397 微纳米复合粉体抑制钎焊金刚石热损伤机理研究 国家自然科学基金青年基金 2021-01~2023-12 负责人 Vertical project
DMETKF2021003 高效精密磨削用xxxxxxxxxxx技术研究 国家重点实验室开放基金 2021-01~2022-12 负责人 Vertical project
GZKF-2020002 钎焊金刚石xxxxxx形成机理与抑制方法研究 国家重点实验室开放基金 2021-01~2022-12 负责人 Vertical project
2021开放基金04 钎焊金刚石铣磨工具xxxxxxxx的基础研究 省高校重点实验室开放基金 2020-09~2022-07 负责人 Vertical project
xzy012020094 金刚石表面xxxxxxxx的机理研究 西安交通大学基本科研业务费项目 2020-01~2022-12 负责人 Vertical project
2019M653589 基于xxxxx抑制钎焊金刚石热损伤的新型砂轮 中国博士后科学基金 2019-05~2021-05 负责人 Vertical project
BX20180250 高效精密磨削非球面光学元件的新型金刚石砂轮研究 中国博士后创新人才支持计划项目 2018-06~2020-06 负责人 Vertical project
20171BAB216032 细粒度钎焊金刚石工具xxxxxxxx技术的基础研究 江西省自然科学基金青年基金 2017-01~2019-12 负责人 Vertical project
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