Patent

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Patent Name Application Number xjtu.gr.patent.type Application Date
一种零件涂层制备装置及零件涂层制备方法、终端装置 CN202011075185.4 Invention 2020.10.09
一种工件预处理设备及其预处理方法 CN202010490732.9 Invention 2020.06.20
一种匀光参数的配置装置及方法、剥离系统及方法 CN202010127468.2 Invention 2020.02.28
一种激光加工方法和设备 CN202010113641.4 Invention 2020.02.24
检测装置、检测准分子激光器放电腔部件钝化程度的方法 CN202010113630.5 Invention 2020.02.24
液滴靶生成装置及其温度控制系统 CN201820565865.6 Utility model 2018.04.09
EUV光源液滴发生装置及其温度控制系统 CN201810354424.6 Invention 2018.04.09
准分子激光器窗片的更换装置 CN201820126047.6 Utility model 2018.01.25
一种准分子激光器放电腔气体的检测模块 CN201820126062.0 Utility model 2018.01.25
准分子激光器窗片的更换装置和更换方法 CN201810070856.4 Invention 2018.01.25
一种准分子激光器放电腔气体的检测方法及模块 CN201810070807.0 Utility model 2018.01.25
一种激光修复与抛光陶瓷零件的方法 CN201710651327.9 Utility model 2017.08.02
一种多孔陶瓷的准分子激光抛光及检测方法 CN201710652088.9 Invention 2017.08.02
干燥及预钝化装置 CN201720581572.2 Utility model 2017.05.23
干燥及预钝化装置及方法 CN201710371401.1 Invention 2017.05.23