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Science Project

Project name    IC制造中压印光刻工艺与设备的研究开发(444444)
Project origin    “863”高科技项目
Start Date    2002-1~2005-12
Project Fund    400Ten thousand yuan
Project kind    Vertical project
Project status    Completed
Project advantage    Good development prospect
Technical excellence   
Feasibility   
Description    微纳
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