一、研究方向

微纳结构是构成微电子、光电子、柔性电子的核心单元，微纳结构的尺寸、形状、位置、精度等直接决定相关器件的性能表现，包括光传输、电传导、热扩散等。因此，微纳结构制造技术是实现集成电路、显示器、传感器、微机械系统、超构表面、储能器件制造的核心技术，微纳结构的制造技术水平直接决定先进器件的性能和产能。NanoMan课题组（团队负责人邵金友教授）依托精密微纳制造技术全国重点实验室（原机械制造系统工程国家重点实验室），以纳米压印光刻为特色，研究先进微纳制造工艺与装备，从制造的角度解决不同需求领域面临的挑战性难题，部分研究方向简介如下，详见NanoMan课题组主页（http://gr.xjtu.edu.cn/web/jyshao）：

1. 【纳米压印光刻工艺与装备】纳米压印光刻是一种模板复制式的光刻技术，与投影式光刻相比不受光学衍射限制，具有5nm以下的高分辨率，以及低成本、高效率的优势，被国际器件与系统路线图列为下一代光刻技术。课题组针对压印光刻的基础科学难题，尤其是微观界面润湿、粘附、摩擦等限制微纳结构成形缺陷率、可靠性和稳定性等问题，致力于寻找先进解决方案，开发原创性压印光刻工艺、材料、装备，支撑我国芯片制造领域先进光刻技术发展。

2.【先进功能表面制造技术】在飞行器、汽车、建筑物等表面制造出具有特殊功能的表面，包括具有感知、探测、传输功能的精密电路，以及具有减阻、增透、抗粘、超疏功能的微纳结构化表面，是实现系统轻量化和智能化的主要途径。课题组针对表面电路和微纳功能结构制造面临的精度、效率、鲁棒性难兼顾问题，从材料、结构、工艺与装备等多个角度系统开发解决方案，掌握高可靠三维曲面电路的先进制造技术。

3.【超级电容器制造技术】电池性能是制约电动汽车、移动电子设备、无人机、远程活动机器人等续航能力和工作性能的关键因素，该方向从电极微纳结构设计与制造的角度调控电能存储过程，探索高性能电极膜或电极微结构的制造工艺和装备，提高超级电容/锂电池的容量、寿命、充放电速度、力热稳定性和机械柔性等，服务相关领域发展。

二、科研项目

围绕上述研究方向承担/正在承担多项国家级、省部级、企业横向研究项目，合同经费累计超6000万元：

1. 国家级项目，纳米XXX技术，主持；

2. 国家优青项目，微纳尺度流体表界面特性调控与高性能器件制造，2024.1 - 2026.12，主持；

3. 国家级项目，高附着XXX技术, 2022.10 - 2025.9，主持；

4. 国家级项目，基于二维材料的柔性应变传感器阵列，2021.11 - 2024. 10，主持；

5. 企业横向，抗冲击xxxx技术，2020.8 - 2023.7，主持

6. 国家自然科学基金，超级电容器直立石墨烯电极的模板锚定组装工艺与电解质填充方法研究，2020.01-2023.12，主持；
7. 国家自然科学基金，柔性超级电容器石墨烯图形化电极的模板热场诱导成形基础研究，2016.01-2018.12，主持；

8. 陕煤联合基金，高性能石墨烯超级电容器的卷对卷制造技术，2020.01-2021.12，主持；

三、论文与专利
围绕微纳制造工艺与装备开发，及其在集成电路光刻、共形电子、储能器件、柔性电子等方面的应用探索，已授权国家发明专利20余件、美国PCT发明专利2件；相关研究成果发表在Nature Communications, Matter、Advanced Materials, Advanced Functional Materials等高水平期刊40余篇，他引2000余次。

四、所在研究团队（NanoMan）的其他老师：

邵金友  教授/博导，国家杰青，科研院常务副院长（http://gr.xjtu.edu.cn/web/jyshao）

陈小明  教授/博导，国家级青年人才（http://gr.xjtu.edu.cn/web/xiaomingchen）

田洪淼  教授/博导，国家级青年人才（http://gr.xjtu.edu.cn/web/hmtian）

陈小亮  特聘研究员/博导，省级青年人才、中国博士后创新人才入选者(https://gr.xjtu.edu.cn/web/xiaoliangchen)

王春慧  副教授，青年优秀人才(https://gr.xjtu.edu.cn/web/chw-nanoman)