Numerical simulation of multiple polysilicon CVD reactors connected in series using CFD method
发布时间：2025-04-30
点击次数：
- 发布时间：
- 2025-04-30
- 论文名称：
- Numerical simulation of multiple polysilicon CVD reactors connected in series using CFD method
- 发表刊物：
- Canadian Journal of Chemical Engineering
- 摘要：
- 1
- 合写作者：
- Huang Zheqing, Qie Siyuan, Quan Xigang, Guo Kai, Liu Chunjiang
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2015-11-29