Development of a polysilicon chemical vapor deposition reactor using the computational fluid dynamics method
发布时间：2025-04-30
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- 发布时间：
- 2025-04-30
- 论文名称：
- Development of a polysilicon chemical vapor deposition reactor using the computational fluid dynamics method
- 发表刊物：
- ECS Journal of Solid State Science and Technology
- 摘要：
- 1
- 合写作者：
- Huang Zheqing, Liu Chunjiang, Yuan Xigang, Liu Shiping, Liu Feng
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2013-09-04