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教师姓名：洪军
所在单位：机械工程学院
学历：博士研究生毕业
性别：男
学位：博士
职称：教授
博士生导师：是
硕士生导师：是
所属院系：机械工程学院

专利成果

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基于湿法刻蚀MEMS压印模板制造工艺

发布时间：2025-04-30

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专利名称：: 基于湿法刻蚀MEMS压印模板制造工艺

专利类型：: 发明

申请号：: 200510043070.6

是否职务专利：: 否

申请日期：: 2005-08-08

发布时间：: 2025-04-30

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