卜腊菊
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所在单位：化学学院
学历：博士研究生毕业
性别：女
学位：博士
职称：教授
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专利成果
一种利用等离子体刻蚀原位测量聚合物亚层光谱的方法
发布时间：2026-07-17 点击次数：
专利名称：一种利用等离子体刻蚀原位测量聚合物亚层光谱的方法
专利类型：发明
专利状态：授权专利
授权号：ZL2016 10393452.X
发明人数：3
是否职务专利：否
申请日期：2016-06-03
授权日期：2018-12-06
发布时间：2026-07-17
