Impact of ultrathin Al2O3 interlayer on thermal stability and leakage current properties of TiO2/Al2O3 stacking dielectrics
发布时间：2026-09-14
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- 发布时间：
- 2026-09-14
- 论文名称：
- Impact of ultrathin Al2O3 interlayer on thermal stability and leakage current properties of TiO2/Al2O3 stacking dielectrics
- 发表刊物：
- Journal of Vacuum Science & Technology B
- 合写作者：
- Hong-Bo Wang, Da-Yan Ma, Fei Ma, Ke-Wei Xu
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2012-08-08