任冯刚
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论文成果发布时间：2026-10-01
DOI码：10.1088/2631-7990/ae2578
论文名称：Scalable and reproducible sub-5 nm manufacturing for next-generation devices
教研室：肝胆外科
发表刊物：International Journal of Extreme Manufacturing
备注：本人角色：共同通讯作者。发表时间按在线发表日期填写。卷期年份为2026年。
合写作者：Dongxu Yang, Qi Yuan, Yingfang Zhang,孙柏, Jian Lv, Hongmiao Tian,李祥明, Yi Lv, Stefan A Maier
第一作者：Lijuan Chen
论文类型：期刊论文
通讯作者：Sihai Luo, Xiaoliang Chen, Fenggang Ren, Jinyou Shao
卷号：8
期号：2
页面范围：022010
ISSN号：2631-8644; 2631-7990
是否译文：否
发表时间：2025-12-16
