- 教师姓名： 王琛英
- 电子邮箱： c0859488e28b4f9b92af7e60b0cb8ae69e367a84fc43e109615b5713b37795e5963b214555e2d57c7ce926ea8983e6b4bd5c48527d9478c7bff2d21e221812e150929b6d76846c6a18b80aaf97b6712a92cd82428eb0a763352ee49b67e54e905efa33c497baa223c7103312d64adb628e3e349912339947ab73ce6595c71ed8
- 所在单位： 仪器科学与技术学院
- 职务： 智能传感与系统研究所副所长
- 学历： 博士研究生毕业
- 办公地点： 西安交通大学兴庆校区西二楼精密工程研究所
- 性别： 女
- 学位： 博士
- 职称： 教授
- 在职信息： 在职
- 毕业院校： 西安交通大学
- 博士生导师： 是
- 硕士生导师： 是
- 所属院系： 仪器科学与技术学院
基于ALD技术的纳米台阶高度样板的制备与测量溯源研究
- 项目名称：
- 基于ALD技术的纳米台阶高度样板的制备与测量溯源研究
- 项目状态：
- 进行中
- 项目分类：
- 纵向项目
- 项目来源：
- 国家自然科学基金青年基金项目
- 项目编号：
- 51505368
- 立项时间：
- 2016-01-01
- 结项日期：
- 2018-12-01
- 发布时间：
- 2025-04-30
