微纳制造与MEMS传感器

开展微纳米结构精确制造与MEMS传感器的关键技术研究。

• 微纳米测量技术与标准物质的研制

集成式周期性几何结构标准物质对于光学仪器和微计算机断层扫描（微CT）等的校准至关重要，通过将光刻技术和电感耦合等离子体（ICP）蚀刻工艺相结合，突破常规标准物质测量范围受限、图案类型单一和校准参数单一等方面的局限性。