研究方向

1、【智能微纳制造技术与装备】— 机械为“手”

智能化是机械工程发展的主趋势，微/纳尺度与精度是制造人初心的深入延续。该方向重点关注原创性的纳米压印光刻技术，智能化半导体制造技术与装备，功能材料微纳成形方法与工艺。依托机械制造系统工程国家重点实验室（http://sklms.xjtu.edu.cn/）拥有一流的微纳制造装备、检测仪器，并配备专业的实验技术人员。

2、【光芯片/器件设计与开发】— 光电为“心”

光波是智能信息传递的优质载体，微纳功能结构是光信息调制的核心技术手段。该方向重点关注高辐射性能激光/μ-LED芯片、亚波长阵列光栅波导、meta-lens、高集成度硅基光电子器件、高信噪比/大动态范围光电传感器等的设计开发。该方向获得了国家自然科学基金委、科技部、总装备部、JKW等机构的研究经费资助。

3、【智能化交互应用系统】— 智慧为“生”

在这里我们一起努力，佩戴自己开发的AR智能眼镜打开元宇宙大门，手机上搭载我们出品的3D sensing呈现盛世美颜，亦或让机器人更敏锐、让汽车更智能、让数据中心更低耗/高效...... 贡献智能制造、共创美好生活。

代表性科研项目

1、国家自然科学基金面上项目，激光芯片变深度纳米光栅谐振腔的梯度电场驱动悬浮模板压印方法研究，2023.01-2026.12，54万，负责人

2、总装备部*******，精密光学********技术，2022.03-2022.08，40万，负责人

3、国家重点研发计划子课题，智能生产线物料传输运动规划，2021.01-2023.10，69万，负责人

4、国家重点研发计划重点专项，压电式微滴喷射阵列打印头制造工艺优化及集成方法研究，2017.07-2020.06，1125万元，骨干成员（主持：邵金友）

5、国家自然科学基金集成项目，功能化大面积纳米结构的模板调制成形基础研究，2014.01-2017.12，1400万元，骨干成员（主持：邵金友）

代表性论文

1. Wang Chunhui; Shao Jinyou; Lai Dengshui; Tian Hongmiao; Li Xiangming; Suspended-Template Electric-Assisted Nanoimprinting for Hierarchical Micro- Nanostructures on a Fragile Substrate, ACS Nano, 2019, 13(9)：10333-10342. 

2. Wang Chunhui; Fan Yu; Shao Jinyou; Yang Zhengjie; Sun Jiaxing; Tian Hongmiao; Li Xiangming; Discretely-supported nanoimprint lithography for patterning the high-spatial-frequency stepped surface, Nano Research, 2021, 14(8)：2606-2612.

3. Wang Chunhui; Lai Dengshui; Fan Yu; Tian Hongmiao; Li Xiangming; Chen, Xiaoliang; Shao, Jinyou; Nanoimprinting metal-containing nanoparticle-doped gratings to enhance the polarization of light-emitting chips by induced scattering, Nanotechnology, 2021, 32(23). 

4. Wang Chunhui; Shao Jinyou; Tian Hongmiao; Li Xiangming; Protective integrated transparent conductive film with high mechanical stability and uniform electric-field distribution, Nanotechnology, 2019, 30(18). 

5. Wang, Chunhui; Shao, Jinyou; Tian, Hongmiao; Li, Xiangming; Ding, Yucheng; Li, Ben Q. ; Step-Controllable Electric-Field-Assisted Nanoimprint Lithography for Uneven Large Area Substrates, Acs Nano, 2016, 10(4): 4354-4363

所在课题组团队（NanoMan）的其他老师：

邵金友  领军教授，博导，院长

陈小明  特聘教授，博导

李祥明  教授，博导

田洪淼  教授，博导

陈小亮  副教授，博导