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Science Project

Project name    IC制造装备基础问题研究(2009CB724200)
Project origin    973项目
Start Date    2009-1~2013-12
Project Fund    Ten thousand yuan
Project kind    Vertical project
Project status    Completed
Project advantage   
Technical excellence   
Feasibility   
Description    复杂环境下大尺寸超薄晶圆的高效稳定传输原理与实现
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