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科研项目

项目名称    IC制造装备基础问题研究(2009CB724200)
项目来源    973项目
起始时间    2009-1~2013-12
项目经费    万元
项目类别    纵向项目
状态    已完成
项目优势   
技术优势   
可行性   
简介    复杂环境下大尺寸超薄晶圆的高效稳定传输原理与实现
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