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大事记(一句话新闻)
科学研究 - 董 光能
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科研项目
项目名称
IC制造装备基础问题研究(2009CB724200)
项目来源
973项目
起始时间
2009-1~2013-12
项目经费
万元
项目类别
纵向项目
状态
已完成
项目优势
技术优势
可行性
简介
复杂环境下大尺寸超薄晶圆的高效稳定传输原理与实现
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