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来源：交大新闻网

压电驱动具有纳米级运动精度、断电自锁等特点，是精密制造、精密测量和精密驱动中的核心关键技术之一，在光刻机、激光准直等精密制造与精准定位系统中占据着极其重要的地位。随着科学技术的飞速发展，微纳加工、激光通讯等系统对精密驱动技术的要求越来越高，如何实现兼具快速运动和高精度定位的驱动技术已成为了当前亟待解决的关键问题。

针对上述问题，西安交通大学电子陶瓷与器件教育部重点实验室李飞、徐卓教授团队基于材料序构的思想，通过设计压电基元的几何形状、空间堆垛与排列方式，进一步提高了陶瓷和单晶材料的压电性能，同时实现了材料的多模态振动耦合，为压电驱动的性能提升提供了新的思路。基于上述基元序构压电材料，团队研制了小型化高精度超声马达（图1a），马达定子的尺寸远小于一颗米粒，该马达同时具有高位移分辨率（3纳米）和高单位体积运动速度（4.66 s^-1mm^-2），其位移分辨率比传统超声电机提高了2个数量级。