科研成果 - 郭 馨
| 专利名称 | 申请号 | 专利类型 | 申请日期 |
|---|---|---|---|
| 一种零件涂层制备装置及零件涂层制备方法、终端装置 | CN202011075185.4 | 发明 | 2020.10.09 |
| 一种工件预处理设备及其预处理方法 | CN202010490732.9 | 发明 | 2020.06.20 |
| 一种匀光参数的配置装置及方法、剥离系统及方法 | CN202010127468.2 | 发明 | 2020.02.28 |
| 一种激光加工方法和设备 | CN202010113641.4 | 发明 | 2020.02.24 |
| 检测装置、检测准分子激光器放电腔部件钝化程度的方法 | CN202010113630.5 | 发明 | 2020.02.24 |
| 液滴靶生成装置及其温度控制系统 | CN201820565865.6 | 实用新型 | 2018.04.09 |
| EUV光源液滴发生装置及其温度控制系统 | CN201810354424.6 | 发明 | 2018.04.09 |
| 准分子激光器窗片的更换装置 | CN201820126047.6 | 实用新型 | 2018.01.25 |
| 一种准分子激光器放电腔气体的检测模块 | CN201820126062.0 | 实用新型 | 2018.01.25 |
| 准分子激光器窗片的更换装置和更换方法 | CN201810070856.4 | 发明 | 2018.01.25 |
| 一种准分子激光器放电腔气体的检测方法及模块 | CN201810070807.0 | 实用新型 | 2018.01.25 |
| 一种激光修复与抛光陶瓷零件的方法 | CN201710651327.9 | 实用新型 | 2017.08.02 |
| 一种多孔陶瓷的准分子激光抛光及检测方法 | CN201710652088.9 | 发明 | 2017.08.02 |
| 干燥及预钝化装置 | CN201720581572.2 | 实用新型 | 2017.05.23 |
| 干燥及预钝化装置及方法 | CN201710371401.1 | 发明 | 2017.05.23 |
(创新港)
