null

专利

专利名称    具有晶粒尺寸差异的Cu/Ta 纳米多层膜的制备方法
申请号    ZL 2009 1 0219558.8
专利类型    发明
发明人    黄平，许明，王飞，徐可为
申请日期    2011.11.16
代理人   
学院    材料学院
返回