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洪 军
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洪 军
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项目及成果 - 洪 军
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专利
专利名称
基于湿法刻蚀MEMS压印模板制造工艺
申请号
200510043070.6
专利类型
发明
发明人
申请日期
2005.08.08
代理人
学院
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