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专利

专利名称    一种基于飞秒激光处理和湿法刻蚀的硅微结构加工方法
申请号    201310141035.2(2016)
专利类型    发明
发明人    陈涛，司金海，马云灿，等
申请日期    2013.06.01
代理人   
学院    电子与信息学部
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