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科研项目

项目名称    光刻物镜非球面镜超精面形检测技术基础研究(51275395)
项目来源    国家自然科学基金项目
起始时间    2013-1~2016-12
项目经费    80万元
项目类别    纵向项目
状态    已完成
项目优势    产品或工艺创新性突出
技术优势   
可行性   
简介   
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