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授权专利

专利名称    超声喷雾热分解化合物半导体薄膜制备系统
申请号    ZL200710018065.9
专利类型    发明
发明人    郭烈锦、苏进展、李明涛、张西民
申请日期    2007.10.01
代理人    西安交通大学
学院    能动学院
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