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科学研究 - 邱 志惠
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科研项目
项目名称
IC制造中压印光刻工艺与设备的研究开发(444444)
项目来源
“863”高科技项目
起始时间
2002-1~2005-12
项目经费
400万元
项目类别
纵向项目
状态
已完成
项目优势
市场发展前景好
技术优势
可行性
简介
微纳
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