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科研项目

项目名称    IC制造中压印光刻工艺与设备的研究开发(444444)
项目来源    “863”高科技项目
起始时间    2002-1~2005-12
项目经费    400万元
项目类别    纵向项目
状态    已完成
项目优势    市场发展前景好
技术优势   
可行性   
简介    微纳
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