随着微纳制造技术的发展，器件尺寸在不断变小的过程中，非线性效应、热噪声过程等一系列物理现象随着尺度变化而此消彼长。由于微尺度下各种非线性耦合作用的存在，MEMS器件中出现了同步、混沌、频梳等一系列非线性现象，极大丰富了非线性科学。本课题组主要针对微纳器件中的非线性现象展开研究，探索非线性现象的形成机理和调控规律，为研制新型MEMS器件提供理论基础。
科研 (Research) - 韦 学勇
MEMS传感器由于其精度高、体积小、成本低等优点广泛应用于国防、工业及电子消费品领域。本课题组为解决我国对高性能MEMS加速度传感器的需求，重点针对惯性导航、振动监测、地震检波三个应用场合分别研制高精度MEMS加速度传感器和测试样机。还研制了高精度扭矩传感、压力传感器、电荷传感器等核心MEMS敏感芯片。
微流控与生物传感技术研究，以液滴微流控为基础，结合声流控和生物传感技术，涉及多层液滴与多孔材料制造、声学微纳操纵、生物传感器件、声学生化设备等领域。目前，课题组基于表面声波声流控技术，架构了从原理到器件到设备的完整研究线与技术链，从理论到实践为生物化学研究提供了多种快速、高效、一站化的解决方案。
| 项目编号 | 项目名称 | 项目来源 | 起讫时间 | 承担角色 | 项目类别 |
|---|---|---|---|---|---|
| 2018YFB2002303 | 基于超谐同步的高精度硅微加速度传感器 | 国家重点研发计划 | 2019-7~ | 负责人 | 纵向项目 |
| 2018ZDCXL-GY-02-03 | 高精度加速度计的研发 | 陕西省重点研发计划 | 2018-1~ | 负责人 | 纵向项目 |
| 51711530237 | 基于声表面波驱动的微液滴筛选藻类细胞研究 | 国家自然科学基金项目 | 2017-4~ | 负责人 | 纵向项目 |
| 51575439 | 硅微谐振器中的非线性效应研究及其在振荡器中的应用 | 国家自然科学基金项目 | 2016-1~ | 负责人 | 纵向项目 |
| 2014jm2-5054 | 基于多模结构的新型硅微振荡器研究 | 陕西省科学技术厅 | 2015-1~ | 负责人 | 纵向项目 |
| 2014G1502004 | 基于MEMS加速度传感器的挖机倾角测量系统研制 | 公路养护装备国家工程实验室 | 2015-1~ | 负责人 | 纵向项目 |
| 51345014 | 体声波模态微机械谐振子中的非线性效应及其应用研究 | 国家自然科学基金项目 | 2014-1~2015-1 | 负责人 | 纵向项目 |
| 2012YQ03026101 | 自动化核酸检测与分析关键技术及部件研制 | 科技部重大仪器专项 | 2013-1~ | 骨干成员 | 纵向项目 |
| MSV-2010-20 | 微/纳器件的非线性动力学研究 | 机械系统与振动国家重点实验室开放基金 | 2010-4~2012-4 | 负责人 | 纵向项目 |
