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论文标题    Design and Fabrication of a MEMS Electromagnetic Swing-type actuator for Optical Switch
作者    Shuhai Jia1,2*, Jun Peng，Bian Jia Ming，Zhang Shuo，XuShun jian，Zhang Bao
发表/完成日期    2021-03-31
期刊名称    Micromachines（中科院 3区）
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