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专利

专利名称    一种具有复合多梁结构的加速度传感器芯片及其制作方法
申请号    201110133986.6
专利类型    发明
发明人    赵玉龙， 刘岩， 孙禄， 田边， 蒋庄德
申请日期    2011.05.01
代理人   
学院    机械学院
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