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田 边
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科研成果(Scientific Research Achievement) - 田 边
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专利
专利名称
一种具有复合多梁结构的加速度传感器芯片及其制作方法
申请号
201110133986.6
专利类型
发明
发明人
赵玉龙, 刘岩, 孙禄, 田边, 蒋庄德
申请日期
2011.05.01
代理人
学院
机械学院
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