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Science Project

Project name    纳米压印光刻中多层套印精度控制机理与方法研究(50805117)
Project origin    国家自然科学基金项目
Start Date    2009-1~2011-12
Project Fund    21Ten thousand yuan
Project kind    Vertical project
Project status    Completed
Project advantage   
Technical excellence   
Feasibility   
Description   
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