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专利与软件著作权

专利名称    一种多孔金属氧化物晶圆级微纳气体传感器及制备方法
申请号    CN202210335484.X
专利类型    发明
发明人    王海容;曹慧通;田鑫;李剑;胡宗鑫
申请日期    2022.03.31
代理人    姚咏华
学院    机械学院
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