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专利与软件著作权

专利名称    基于悬膜结构MEMS桥式钯合金氢气传感芯片及制备方法
申请号    CN202310249668.9
专利类型    发明
发明人    王海容;弓瑨;王朝晖;王瑞浩
申请日期    2023.03.15
代理人    西安通大专利代理有限责任公司
学院    机械学院
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